詳細介紹
產品介紹
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入,幫助提高產品合格率
?可根據安裝空間進行設計
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